廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵負(fù)載
zhuan業(yè)進(jìn)口分子泵varian瓦里安真空泵維修代理商廣州潽拓光電科技有限公司是varian瓦里安真空泵維修廠家，我們采用zhuan業(yè)的維修修復(fù)工具，同時(shí)選擇質(zhì)優(yōu)的配件達(dá)到varian瓦里安真空泵維修后的良好的性能運(yùn)轉(zhuǎn)，售后保修，技術(shù)咨詢(xún)等售后服務(wù)措施。
現(xiàn)在市場(chǎng)上提供的干式泵種類(lèi)很多。就其基本原理來(lái)分，只有兩類(lèi)，即：
① 容積式的干式真空泵, 例如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～0.04m3/s。
② 動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵，如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級(jí)串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02～0.15m3/s。牽引型干式泵也屬于動(dòng)量傳輸式的干式泵。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)開(kāi)始時(shí)出現(xiàn)的故障
1、檢漏鍵無(wú)效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒(méi)有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒(méi)有反應(yīng)。
2、檢漏鍵無(wú)效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號(hào)，而不接受遙控器信號(hào)，檢漏鍵無(wú)效。
廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵負(fù)載
廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵負(fù)載超高真空泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司是進(jìn)口真空泵供應(yīng)商,為客戶(hù)24小時(shí)提供技術(shù)支持及售后維保服務(wù)，包括磁懸浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、渦旋分子泵，渦輪分子泵、超高真空泵、復(fù)合分子泵等。歡迎廣大業(yè)界人士來(lái)電來(lái)函，我們將竭誠(chéng)為您提供相關(guān)的技術(shù)指導(dǎo)與全套滿(mǎn)意的維修服務(wù)支持。
渦旋泵在一些發(fā)達(dá)國(guó)家已經(jīng)逐步代替了油封式機(jī)械泵。目前渦旋泵主要應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線(xiàn)、液晶顯示器生產(chǎn)線(xiàn)和科研設(shè)備上。
渦旋型線(xiàn)參數(shù)相同、相位角差π、基圓中心相距r(r的取值與漸開(kāi)線(xiàn)節(jié)距及壁厚有關(guān))的動(dòng)渦旋盤(pán)與靜渦旋盤(pán)組裝后，可以形成數(shù)對(duì)封閉的月牙腔。當(dāng)偏心軸推動(dòng)動(dòng)渦旋盤(pán)中心(即基圓圓心)繞靜渦旋盤(pán)中心(即基圓圓心)做半徑為r的圓周軌道運(yùn)動(dòng)時(shí)，這些封閉月牙腔容積相應(yīng)地?cái)U(kuò)大或縮小，由此實(shí)現(xiàn)氣體的吸人、壓縮和排氣的目的。低壓氣體從靜渦旋盤(pán)上開(kāi)設(shè)的吸氣口進(jìn)入吸氣腔，經(jīng)壓縮后由靜渦旋盤(pán)中心處的排氣口排出。
真空泵排氣原因：
真空泵油積碳，發(fā)黑，像油泥一樣，所以在排氣口處出現(xiàn)冒油煙。出現(xiàn)這種情況時(shí)，要把真空泵油更換掉，將泵從系統(tǒng)上拆下，用干凈的方盤(pán)接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。斷續(xù)啟動(dòng)電機(jī)，使各真空小室內(nèi)的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油200~300CC。斷續(xù)啟動(dòng)電動(dòng)機(jī)，再次清洗各真空室。這樣經(jīng)2~3次重復(fù)清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。超高真空泵維修
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旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。進(jìn)口真空泵維修
電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運(yùn), 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見(jiàn)于半導(dǎo)體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標(biāo)靶, 使材料標(biāo)靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標(biāo)上.進(jìn)口真空泵維修
在蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過(guò)程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無(wú)油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴(kuò)散泵成為*普遍的真空系統(tǒng),進(jìn)口真空泵維修
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